一种基于空间偏置针孔的差动共焦测量系统及其测量方法

本发明提供一种基于空间偏置针孔的差动共焦测量系统及其测量方法，包括沿光路设置的照明单元、共焦测量单元，还包括差分测量单元，差分测量单元设置在照明单元测量光束的出射方向上，用于接收被测物反射光束的焦前光电强度信号和焦后光电强度信号，获取被测物的位置信息，差分测量单元包括两路焦前差分组件和两路焦后差分组件。本发明将现有的差分测量系统改进为两路焦前差分组件和两路焦后差分组件，将现有技术中的两路差分信号拓展为四路差分信号，在保持原有差分信号高精度测量的基础上，显著拓展了线性区间的范围，在保持测量精度的基础上大大拓展了测量范围。