一种超精密光学测量方法

本发明公开了一种超精密光学测量方法，包括机架、设置于机架上的激光系统、测头系统以及测量平台系统，所述测头系统包括测头、带动测头上下移动的Z向移动机构，所述测量平台系统包括测量座、带动测量座沿X方向和Y方向移动的XY移动机构，所述激光系统包括激光发射器、反射镜组、若干激光干涉仪以及转折镜，所述测头中设有能够浮动的浮动杆以及安装于浮动杆底端的测球且测量时测球与被测工件接触，圆度误差补偿算法步骤如下：S1:将标准球放在测量座上进行测量，S2:剔除误差参数，S3:构建如下运动学模型，S4:通过非球面方程求解标准球的面形误差，从而在后续的测量过程中能够对测量所得的数据通过面形误差进行补偿，从而获得精确的测量值。