摘要
本发明提供一种晶圆级和板级组合封装方法和封装结构,步骤A1,将整片晶圆的正面朝上,在晶圆的正面形成导电连接层;步骤A2,将晶圆的背面临时贴合到支撑载板上;步骤A3,对晶圆进行正面和侧面塑封形成第一保护层;步骤A4,移除支撑载板;步骤A5,对晶圆的正面的第一保护层进行研磨露出导电连接层的顶表面;步骤A6,切割晶圆形成单个封装结构。本发明采用晶圆级封装与板级封装相结合的结构及工艺,形成易实现且可标准化的封装流程,解决晶圆级封装侧面裸露而板级封装对位精度低的问题,提高封装效率并降低产品成本。
技术关键词
封装方法
封装结构
层叠结构
导电
晶圆级封装
正面
焊盘
焊接金属
对位精度
载板
表面镀
芯片
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