一种反极性红光LED大功率芯片制备过程中粗化液筛选方法

本发明提供一种反极性红光LED大功率芯片制备过程中粗化液筛选方法，该方法通过先在反极性红光LED大功率外延片表面的中间位置制备出4‑8个间隔的图形，图形外的阻挡层先保留，通过先蒸镀电极退火，在4‑8个电极周围通过常规光刻得到4‑8个间隔的图形，再使用不同的粗化液进行粗化，粗化后不同图形进行进行通电测试，得到了不同的出光功率，对光电参数进行对比，得到光电参数最优的图形，从而筛选出最优粗化液。筛选出的粗化液可用于大批量制备反极性红光LED大功率芯片，得到的反极性红光LED大功率芯片一致性高，提升了良率，避免了参数不良问题，有效提升出光效率且更稳定。