一种晶圆检测用自动取放片控制系统及方法

本发明公开了一种晶圆检测用自动取放片控制系统及方法，属于晶圆加工技术领域。系统包括：取放片单元、旋转单元、升降单元及控制器。取放片单元、旋转单元及升降单元均与所述控制器电性连接。取放片单元安装在旋转单元上，用于在旋转单元的带动下实现水平方向上的周向旋转。旋转单元安装在升降单元上，用于在升降单元的带动下联合取放片单元实现竖直方向上的上下移动。控制器还与人机交互单元电性连接，用于根据用户输入的取放片控制指令，控制取放片单元、旋转单元及升降单元动作，进而完成相应的取放片操作。本发明通过机械、电气及软件的协同优化，实现了晶圆检测环节中取放片过程的高效、精准、安全自动化。