摘要
本发明公开了一种晶圆级芯片封装设备及封装方法,应用于芯片封装设备技术领域,包括机架、上下料机构、装夹机构、点胶机构、显示机构和检测组件,所述显示机构设置于机架的一侧上方,所述上下料机构、装夹机构、点胶机构、检测组件均设置于机架内部,所述装夹机构设置于上下料机构中间,所述点胶机构设置于装夹机构远离显示机构的一侧,所述检测组件与显示机构信号连接;所述点胶机构包括支撑架二、三轴移动座和点胶组件;所述点胶组件包括壳体、混合组件、胶源和三通阀,所述壳体为空心结构,混合组件设置于壳体内部,所述检测组件包括温感器、摄像头和温湿传感器,本发明,能够提高晶圆级芯片封装的封装良率与生产效率。
技术关键词
芯片封装设备
装夹机构
显示机构
点胶机构
搅拌扇叶
温湿传感器
检测组件
料机构
混合组件
热媒通道
支撑座
封装方法
下料组件
温感器
点胶组件
三通阀
壳体
分析模块
机架
胶水
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