一种晶圆级芯片封装设备及封装方法

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一种晶圆级芯片封装设备及封装方法
申请号:CN202510563731
申请日期:2025-04-30
公开号:CN120109057B
公开日期:2025-07-22
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种晶圆级芯片封装设备及封装方法,应用于芯片封装设备技术领域,包括机架、上下料机构、装夹机构、点胶机构、显示机构和检测组件,所述显示机构设置于机架的一侧上方,所述上下料机构、装夹机构、点胶机构、检测组件均设置于机架内部,所述装夹机构设置于上下料机构中间,所述点胶机构设置于装夹机构远离显示机构的一侧,所述检测组件与显示机构信号连接;所述点胶机构包括支撑架二、三轴移动座和点胶组件;所述点胶组件包括壳体、混合组件、胶源和三通阀,所述壳体为空心结构,混合组件设置于壳体内部,所述检测组件包括温感器、摄像头和温湿传感器,本发明,能够提高晶圆级芯片封装的封装良率与生产效率。
技术关键词
芯片封装设备 装夹机构 显示机构 点胶机构 搅拌扇叶 温湿传感器 检测组件 料机构 混合组件 热媒通道 支撑座 封装方法 下料组件 温感器 点胶组件 三通阀 壳体 分析模块 机架 胶水
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