一种金刚石单晶异质外延生长智能偏压调控方法及其系统

本发明涉及金刚石外延生长技术领域，且公开了一种金刚石单晶异质外延生长智能偏压调控方法及其系统，包括数据采集模块、预测模块、智能优化模块、梯度场补偿模块以及反馈与调控模块；通过采用预测模型对未来趋势进行预判，能够提前感知潜在的生长异常例如某区域成核概率降低，使控制系统具有前瞻性，避免了事后被动补偿的滞后；强化学习控制器在策略优化过程中综合考虑累积效应和长远目标，使得偏压调控更加智能；智能决策能力远远优于人工经验或预设程序的调整方式，使生长过程对外界扰动如气流波动、放电状态变化等具备更强的鲁棒性；在整个生长过程中保持各区域晶核和生长速率的一致性，有利于抑制大尺寸薄膜中热应力和缺陷的累积。