一种余氯检测芯片制作方法和余氯检测模块

本发明公开一种余氯检测芯片的制作方法和余氯检测模块，包括：S1在绝缘衬底1上涂敷光刻胶；S2根据电极层结构2的形状对绝缘衬底1进行曝光处理，构建形成电极附着区域；S3对绝缘衬底1进行金属蒸镀处理形成电极层结构，电极层结构包括：工作电极、对电极、第一电路L1、第二电路L2、第一触点电极、第二触点电极；S4使用去胶液去除绝缘衬底1上的光刻胶；S5在工作电极、对电极、第一触点电极、第二触点电极上生长金属氧化物形成钝化层结构；S6对钝化层结构进行刻蚀处理，得到第一露出结构、第二露出结构、第三露出结构；S7涂覆水凝胶形成保护层结构。综上，本发明在检测速度、精度、成本控制及设备寿命方面取得显著的技术效果。