晶圆缺陷检测方法及装置

本说明书实施例提供晶圆缺陷检测方法及装置，其中所述晶圆缺陷检测方法包括：通过获取目标晶圆的原始图像并进行预处理，得到待测图像；基于待测图像以及训练好的异常识别模型，生成目标异常概率；当目标异常概率大于预设的第一阈值时，确定目标晶圆存在缺陷；在确定目标晶圆存在缺陷的情况下，将待测图像导入预设的分类模型，确定目标晶圆的缺陷分类；在目标晶圆的异常为已知缺陷类型的情况下，确定已知缺陷的位置信息，可以提高针对晶圆缺陷的检测精度和检测效果。