一种跨工艺节点抗单粒子闩锁能力预测方法、装置及设备

本发明公开一种跨工艺节点抗单粒子闩锁能力预测方法、装置及设备，涉及集成电路技术领域，以解决解决现有的单粒子闩锁能力预测模型只能针对单一工艺节点的器件进行预测的问题。方法包括获取目标工艺节点数据和待预测工艺参数组合；基于目标工艺节点数据，采用迁移学习方法对初始单粒子闩锁预测模型中的目标层权重进行调整，得到目标单粒子闩锁预测模型；将待预测工艺参数组合输入到目标单粒子闩锁预测模型中，得到单粒子闩锁阈值的目标预测值。本发明提供的跨工艺节点抗单粒子闩锁能力预测方法用于对跨工艺节点的器件进行单粒子闩锁能力预测。