探针加载位移和转动角度测量方法、电子设备及存储介质

本发明提供探针加载位移和转动角度测量方法、电子设备及存储介质，属于精密机械技术领域。测量方法包括搭建探针的图像采集平台，使用图像采集平台的相机采集探针的图像；测量探针的针尖的长度，测量针尖与第三方向的初始夹角，以及测量探针的长度；当针尖与晶圆接触，测量针尖在晶圆上沿第一方向的滑行距离，测量探针在晶圆上沿第二方向的摆动距离，第一方向、第二方向和第三方向两两交叉布置；通过针尖的长度、初始夹角和滑行距离，计算得出针尖沿第三方向的加载位移；通过摆动距离和探针的长度，计算得出探针沿第二方向的转动角度。本发明的测量方法能够提高探针的加载位移和转动角度的测量精度。