基于遗传算法的电子束光刻版图分级校正方法

本发明是一种基于遗传算法的电子束光刻版图校正方法，旨在通过优化版图设计提升曝光后图形的质量。本方法先读取待校正版图划分为多个矩形区域，并根据预设的像素大小映射为版图矩阵；然后计算能量分布矩阵，调整各矩形区域的尺寸进行全局校正至收敛；最后针对调整区域进行离散化填充，利用遗传算法以像素为种群个体，通过迭代优化选取最优像素分布，从而实现局部区域的精细化校正。同时在解空间采用上下采样缩小搜索范围，并采用动态适应度函数减少迭代次数。本发明利用简单校正和精准校正实现了版图的分级优化，具有高校正精度和高计算效率的特点。