超分辨的红外光谱成像方法和装置

本发明提供了超分辨的红外光谱成像方法和装置，包括：当红外光激发，使样品和针尖相互作用时，得到针尖变化的信号、样品和针尖的相对位置信号；对针尖变化的信号和相对位置信号叠加后进行红外成像，并对样品的设定区域进行重复扫描，得到图像数据集；将图像数据集按照特征进行对齐，得到对齐后的图像；将对齐后的图像进行叠加和平均处理，得到处理后的图像；将处理后的图像采用峰值检测算法进行寻峰处理，得到特征结构的峰值位点；采用点扩散函数对峰值位点进行图像重建，得到纳米红外图像；通过将定位算法应用至红外图像中，解决了纳米红外技术中普遍存在的空间分辨率不足、热漂移和噪声干扰的问题。