一种高压电子枪亮度分析方法及相关装置

本发明公开了一种高压电子枪亮度分析方法及相关装置，通过构建带有多级加速透镜的高压电子枪仿真模型，分析电极厚度、间距和内径等结构参量对多级加速透镜轴上电场分布的影响，并建立多级加速透镜轴上电场分布的拟合表达式。基于拟合表达式，推导出多级加速透镜结构参量与球差系数的关系，进而计算高压电子枪亮度随束半角的分布。该分析方法可以探究轴上最大亮度与特定束半角下亮度的关系，揭示多级加速透镜对电子枪亮度的影响规律。还可用于多级加速透镜的多参量优化，以提升高压电子枪的亮度曲线均匀区域。