摘要
本发明公开了一种动态切换式NO2气体传感器及其绝缘缺陷检测方法,属于气体传感器技术领域,包括逐层堆叠的气体扩散层、检测电极层、固体电解质层、共享对电极,以及基底支撑层,所述检测电极层包括电压检测区和电流检测区;所述电压检测区采用双层电极;所述电流检测区采用环形电极;所述电压检测区与所述电流检测区之间通过绝缘沟槽隔离;所述传感器配置多模态切换策略,用于通过检测气体的浓度切换恒电位电解模式与开路电位检测模式。本发明采用电压检测区与电流检测区的双电极设计,结合多模态切换策略,动态选择恒电位电解模式或开路电位模式,实现从亚ppm级到千ppm级的全范围覆盖,显著提升检测灵敏度与量程适应性。
技术关键词
绝缘缺陷检测方法
检测电极层
基底支撑层
固体电解质层
局部放电事件
气体扩散层
多模态
绝缘沟槽
传感器配置
模式
电流
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