摘要
本发明涉及一种顶针机构支座及固晶设备。顶针机构支座包括:支座主体;顶针支架,顶针支架包括相对布置的第一悬臂和第二悬臂,第一悬臂用于与顶针机构中的拍摄组件连接,第二悬臂用于与顶针机构中的顶针连接;以及至少一组滑移组件,包括滑轨和可沿滑轨往复滑移的滑移件,滑轨连接于支座主体,滑移件连接于顶针支架;其中,第一悬臂的朝向第二悬臂的表面、以及第一悬臂的背离第二悬臂的表面均开设有悬臂减振槽。本发明中的顶针机构支座及固晶设备能够提高目标芯片的定位精度。
技术关键词
顶针机构
悬臂
滑移组件
支座
基体
拍摄组件
支架
固晶设备
驱动组件
槽口位置
螺母
芯片
定义
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