基于模式匹配与分类的全版图缺陷快速检测系统

本发明提供基于模式匹配与分类的全版图缺陷快速检测系统，涉及半导体制造技术领域，系统包括数据采集与多源融合模块、自适应预处理模块、动态模式匹配模块、多为特征融合模块和闭环优化与输出模块，动态模式匹配模块通过聚类算法(如DBSCAN)和生成对抗网络(GAN)从实时数据中动态生成缺陷模板，结合自适应预处理模块的强化学习滤波和区域聚焦技术，显著提高了缺陷检测的速度和准确性，能够根据实时数据自适应调整检测策略，优先匹配高风险区域，并通过GPU并行计算加速处理，不仅将检测时间缩短至传统方法的50％以下，还能有效识别形变或模糊缺陷，误报率降低约30％，为后续匹配和分类提供了高质量输入。