一种阵列裂隙结构柔性压力传感器及其制备方法

本发明涉及柔性压力传感器技术领域，提出一种阵列裂隙结构柔性压力传感器及其制备方法，所述制备方法包括：将目标性能需求分解为激光加工参数和裂隙结构参数的约束条件；搜索出满足约束条件的激光加工参数和裂隙结构参数的可行解，输出所有参数组合；生成第一阵列结构设计图，基于激光加工参数和第一阵列结构设计图对柔性压力传感器进行制备，得到第一柔性压力传感器；判断第一柔性压力传感器的性能是否满足目标性能需求，若否，则基于性能差异、参数间的关联约束和第一参数组合的不可逆生成第二参数组合；生成第二阵列结构设计图，基于第二参数组合中的激光加工参数和第二阵列结构设计图加工第一柔性压力传感器，得到第二柔性压力传感器。