束流参数处理方法、装置、电子设备、存储介质及产品

本发明公开了束流参数处理方法、装置、电子设备、存储介质及产品。束流参数处理方法包括：将期望的束流状态值输入参数预测模型，得到离子注入机中至少一个第一元器件的预测参数值，预测参数值包括为达到束流状态所对应第一元器件的数值所需达到的参数值；针对每个第一元器件，将第一元器件所对应的预测参数值和第一元器件当前状态下的当前参数值输入至第一元器件所对应的时间关联模型，得到第一元器件的一组爬坡数据；针对每个第一元器件，将所对应的一组爬坡数据，依次设定至第一元器件，直至第一元器件达到所对应的预测参数值。避免由当前参数值设定至预测参数值造成第一元器件寿命降低，甚至造成损坏。提升了第一元器件参数值设定的安全性。