摘要
本申请涉及一种基于MOFs的气体传感器、制备方法、检测方法和热失控监控方法,包括:多个传感单元,每个传感单元包括:硅基底层;纳米结构,所述纳米结构位于所述硅基底层表面;MOFs气敏层,所述MOFs气敏层覆盖在所述纳米结构表面,用于吸附目标气体并通过MOFs材料与所吸附的目标气体发生化学反应,以引起电信号的变化;叉指电极,所述叉指电极位于所述硅基底层表面,用于基于电场分布放大所述电信号的变化;封装层,所述封装层覆盖所述传感单元;其中,所述封装层具有允许气体透过的多孔结构。本申请提供的气体传感器具有高灵敏度、响应速度快的特点,能够有效检测的气体种类和浓度。
技术关键词
气体传感器
叉指电极
基底层
MOFs材料
卷积神经网络提取
光刻技术制作
纳米结构表面
气体透过
长短期记忆网络
序列
电信号
多孔结构
电子束蒸发技术
锂电池热失控
监控方法
金属氧化物
系统为您推荐了相关专利信息
注意力机制
标识特征
多模态信息融合
序列
多模态特征融合
喷水织机
图像采集器
污水处理设备
数据处理单元
信息显示单元
可倾瓦滑动轴承
故障在线监测方法
多元经验模态分解
声发射
长短期记忆神经网络
云主机
数据访问
椭圆曲线密码学
私有区块链网络
拜占庭容错共识算法