气体传感器、制备方法、检测方法和热失控监控方法

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气体传感器、制备方法、检测方法和热失控监控方法
申请号:CN202510613832
申请日期:2025-05-13
公开号:CN120468253A
公开日期:2025-08-12
类型:发明专利
摘要
本申请涉及一种基于MOFs的气体传感器、制备方法、检测方法和热失控监控方法,包括:多个传感单元,每个传感单元包括:硅基底层;纳米结构,所述纳米结构位于所述硅基底层表面;MOFs气敏层,所述MOFs气敏层覆盖在所述纳米结构表面,用于吸附目标气体并通过MOFs材料与所吸附的目标气体发生化学反应,以引起电信号的变化;叉指电极,所述叉指电极位于所述硅基底层表面,用于基于电场分布放大所述电信号的变化;封装层,所述封装层覆盖所述传感单元;其中,所述封装层具有允许气体透过的多孔结构。本申请提供的气体传感器具有高灵敏度、响应速度快的特点,能够有效检测的气体种类和浓度。
技术关键词
气体传感器 叉指电极 基底层 MOFs材料 卷积神经网络提取 光刻技术制作 纳米结构表面 气体透过 长短期记忆网络 序列 电信号 多孔结构 电子束蒸发技术 锂电池热失控 监控方法 金属氧化物
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