摘要
本发明公开了一种基于IAZO和IGZO的复合介质层神经形态忆阻器,介质层包括铟铝锌氧化物层和铟镓锌氧化物层。其优点是:能够显著提高神经形态忆阻器的的I‑V曲线的一致性和稳定性,本发明的神经形态忆阻器具有良好的忆阻器循环特性,稳定的电阻比率以及较小的阈值电压;并且本发明的复合介质层忆阻器还具有痛觉感受器的“阈值”特征、“无适应”特征和“致敏”特征,促进了用于电子皮肤,假肢和人形机器人等的人工感官系统的发展。
技术关键词
忆阻器
磁控溅射沉积
介质
形态
层沉积
铟镓锌氧化物
顶部电极层
人形机器人
感受系统
人工机械
电子皮肤
衬底
层厚度
电子束
假肢
感官
比率
器具
曲线
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