一种基于PSD的光束指向变化检测系统及方法

本发明公开了智能检测技术领域的一种基于PSD的光束指向变化检测系统及方法，包括通过平移升降调节机构安装在光学平板表面的光束感应模块，以及，通过可调式夹持器安装在光学平板表面的激光器，以及，固定在待检测平台表面的反射镜，所述光学平板固定在气浮平台表面，所述光束感应模块中的PSD位置敏感探测器通过驱动电路电性连接软件处理端，所述激光器发出的光束经反射镜反射进入光束感应模块中的PSD位置敏感探测器，所述软件处理端通过采集PSD位置敏感探测器中光斑位置的变化数据，计算待检测平台沿竖直、水平及二维方向的振动角度。本发明可以快速测量物体振动大小并进行数据记录，检测光学反射镜由于各种微振动导致的反射光束指向的变化。