基于机理模型的FOUP内部AMC流动特性模拟方法

本发明提供了基于机理模型的FOUP内部AMC流动特性模拟方法，涉及半导体技术领域，包括：建立FOUP的机理模型，采用拓扑映射分割法对FOUP的机理模型进行网格化处理；通过网格重要度分析选取初始AMC仿真点，并利用生态位理论优化初始AMC仿真点，得到仿真采样点布局；结合FOUP的实际工况设定边界条件和初始条件，并基于仿真采样点布局对FOUP内部AMC流动特性进行仿真模拟，得到仿真模拟结果。本发明不仅能够有效解决FOUP内部AMC流动特性的模拟问题，还可以为半导体制造领域的污染控制提供科学依据和技术支持，具有重要的工程价值和应用前景。