载具输送方法

本发明属于运输装置技术领域，具体涉及一种载具输送方法，本载具输送方法包括：在下层空间将载具移送至上升等待位，在上升等待位将载具抬升至上层空间，在载具抬升时将片料插入载具中；在上层空间接取装满片料的载具，以移送至烘干区域进行烘干；烘干完成后，在上层空间将载具移送至翻转区域；在翻转区域将载具翻转180°后，将载具移送至下降等待位；在下降等待位将载具下降至下层空间，在载具下降时将片料从载具中取出；本发明通过现在翻转区域将载具连同硅片翻转180°完成对硅片的翻面，后将翻转后的硅片排出，一方面方便后续出片操作，另一方面也能够避免硅片需在轮盘上翻转所导致破损、堵片等问题，实现提升硅片翻转效率，同时加快出片速度。