一种热释电多通道并行测试装置及测试方法

本发明公开了一种热释电多通道并行测试装置及测试方法，属于探针检测的热释电测试技术领域。解决了现有技术中传统的热释电测试装置及测试方法测试效率较低的问题；本发明提供热释电多通道并行测试装置，温度传感器及加热器与样品台连接，高低温热台包括温度传感器及加热器、样品台和多通道测试夹具，多通道测试夹具包括探针台及其上的探针，样品台与探针台连接，多通道测试夹具与多通道切换模块和静电计分别连接；温度控制模块与温度传感器及加热器和气泵分别连接，气泵与液氮罐和样品台分别连接；主控端与温度控制模块、多通道切换模块和静电计分别连接。本发明提升了测试效率，实现了低温高温范围内的自动调温，可以应用于多样品热释电测试。