准分子激光器单脉冲能量实时检测系统及其校准方法

本发明提出一种准分子激光器单脉冲能量实时检测系统及其校准方法，包括实时能量检测模块、FPGA能量控制模块、激光器气压检测调节模块、电源电压脉宽调节模块和准分子激光器；包括以下步骤：S1、实时采集单脉冲能量值；S2、将能量值传输滤波处理，对激光单脉冲能量数据进行最优估计；S3、将与目标能量值进行比较，计算能量误差；S4、计算控制信号；S5、调整放电电压、脉冲宽度以及气体压力，使输出能量趋近于目标值；S6、重复上述步骤。由此，能够解决无法实时、高精度校准准分子激光器单脉冲能量的问题，确保在各种复杂工作条件下，准分子激光器的单脉冲能量始终保持在设定的精度范围内，提高激光在皮肤治疗上的质量和稳定性。