一种芯片封装流程监控方法及系统

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一种芯片封装流程监控方法及系统
申请号:CN202510626145
申请日期:2025-05-15
公开号:CN120767214A
公开日期:2025-10-10
类型:发明专利
摘要
本申请提供了一种芯片封装流程监控方法及系统,运用于芯片加工技术领域,通过控制终端获取传感器中对于芯片封装加工流程的监控数据;反馈机制实时反馈传感器监控数据并构建工艺参数;根据传感器监控数据判定是否处于加工标准相符的阈值区间;通过卷积网络模型进行缺陷识别;控制相应设备对缺陷进行修正;通过边缘计算优化并获取缺陷特征关联模型;具备解决目前半导体芯片在封装加工的监控过程中,不能实时或快速反应的去改变加工条件,并且相同工艺缺陷或其他加工缺陷会有一定的关联性,需要工作人员一步步排查分析的技术问题。
技术关键词
芯片封装 监控方法 卷积网络模型 控制终端 压电式压力传感器 蒙特卡洛树搜索 工艺参数动态 消除环境干扰 数据检测单元 多模态传感器 多源异构数据 异常数据点 森林算法 数据获取单元 融合视觉 红外热像仪 消除设备
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