一种适用于TGV成型的激光加工装置及加工方法

本发明涉及激光加工技术领域，且公开了一种适用于TGV成型的激光加工装置及加工方法，包括：S1、通过共聚焦扫描玻璃基板，获取三维拓扑图，其中，三维拓扑图包括玻璃基板的三维坐标、厚度梯度及定位标记；S2、基于所述三维拓扑图，通过紫外飞秒激光刻蚀形成通孔主体，同步动态调控中红外激光在通孔主体侧壁刻蚀生成预设锥度角的锥度通孔；S3、在所述锥度通孔的侧壁，根据三维拓扑图调整紫外飞秒激光的入射角度，通过紫外飞秒激光刻蚀出多个散热凹槽。该适用于TGV成型的激光加工装置及加工方法，使同一通孔内实现信号完整性优化与主动散热功能，提高TGV的适用范围以及使用时的稳定性。