一种基于高压功率器件的脉冲功率发生器

本发明涉及电力半导体封装技术领域，具体为一种MARX脉冲功率发生器的多级模块化封装方法，包括铜基板和至少一个子封装单元，子封装单元固定于铜基板上；子封装单元包括DBC基板和外壳，外壳与DBC基板连接，并形成中空腔体；中空腔体中设置有高电压SiC MOSFET芯片、高压SiC SBD芯片、集成电容和DBC基板，DBC基板的底面与DBC基板连接，高电压SiC MOSFET芯片、高压SiC SBD芯片和集成电容布置于DBC基板的顶面，且高电压SiC MOSFET芯片、高压SiC SBD芯片、高压储能电容器采用键合线进行电气互连；中空腔体的其他空隙部分填充有硅凝胶。本发明采用模块化封装形成Marx发生器每级独立的子单元封装，简化驱动器设计，降低了多器件串联所带来的电气复杂性，具备良好的扩展性和灵活性。