摘要
本发明涉及半导体技术领域,具体涉及一种固晶设备及方法,固晶设备包括承载台以及安装于承载台内部的上料装置、下料装置、贴装装置、蘸胶装置、中转台装置及供晶装置;上料装置与下料装置相互平行设于承载台的相对两端,贴装装置设于上料装置的出料端与下料装置的进料端之间,蘸胶装置位于上料装置的一侧,且蘸胶装置与中转台装置分别设置在贴装装置的两侧,供晶装置位于中转台装置远离贴装装置的一侧;承载台的内部设有可活动的主绑头组件、第一绑头组件及第二绑头组件,主绑头组件设置在下料装置的一侧,第一绑头组件设置在上料装置的一侧,第二绑头组件设置在供晶装置的一侧。
技术关键词
转台装置
贴装装置
蘸胶装置
固晶设备
下料装置
上料装置
检测器
直线模组
工作台组件
承载台
物料台
固晶方法
顶升组件
承载组件
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