一种远程等离子体源的出气口散热水管结构

本发明公开了远程等离子体源领域内的一种远程等离子体源的出气口散热水管结构，包括多段式变径管道，管道由至少三段不同直径的管段依次连接组成，其中靠近出气口的管段直径大于远端管段直径，且靠近出气口的管段水道内径小于远端管段水道内径；管段长度、直径及水道内径基于等离子体源输入功率、气体流速及冷却液温升参数计算确定。该出气口散热水管结构通过变径设计平衡散热效率与流动阻力，确保散热需求与流动压降匹配，决了出气口局部温度过高导致的自由基复合问题，提升了解离率测量精度，且提升了散热效率。