一种芯片MTF值的自动测试分选方法

本发明涉及物理分析技术领域，具体涉及一种芯片MTF值的自动测试分选方法，包括：获取待测芯片在不同光源亮度下的若干次循环测试中每种光源亮度下的MTF图表，确定每张MTF图表的综合可靠性，结合同一循环测试中相邻的不同光源亮度下MTF图表中的曲线，确定每张MTF图表的光源亮度适宜因子，再结合同一种光源亮度下不同循环测试中MTF图表中的曲线，确定每种光源亮度的优良性，从而确定待测芯片的最优MTF值，用以对待测芯片进行分选。本发明通过选取待测芯片在测试过程中的最优光源亮度，保障了待测芯片分选的准确性。