一种基于人工智能的真空镀膜质量智能监测方法

本申请涉及一种基于人工智能的真空镀膜质量智能监测方法，包括：通过镀膜设备传感器实时采集工艺参数，动态监测真空度变化、沉积速率偏差和温度梯度，对数据流标准化处理，得到工艺参数波动的量化趋势曲线；将缺陷微观特征描述集与气体流量波动和电源电压抖动结合，得到工艺参数与缺陷形态的关联性分析结果，根据缺陷特征库校准缺陷类型，得到更新后的缺陷分类依据；通过更新后的缺陷分类依据，输入实时新表面图像数据，针对光照反射差异和条纹偏转角度进行缺陷检测，获取初步缺陷分类结果，调整分类权重参数。