晶圆检测方法及装置

本申请公开了一种晶圆检测方法及装置，涉及晶圆检测技术领域。该方法包括：在利用照明系统执行晶圆检测操作之前，检测照明系统发射到可移动工件台上的照明光斑是否满足预设光学约束条件；在照明光斑满足预设光学约束条件的情况下，对待检测晶圆进行晶圆检测，获取包含有散斑干扰的检测图像；基于光学记忆效应，对包含有散斑干扰的检测图像进行自相关处理和傅里叶变换，提取其频域信息；利用相位恢复算法对频域信息进行处理，得到待检测晶圆的晶圆结构图像。本方案，从包含散斑干扰的实际图像中反推出真实晶圆结构图像，突破了前散斑消除方式主要依赖光源改造或外部调制的限制。