一种MEMS热堆阵列芯片及多组分气体检测装置

本发明涉及一种MEMS热堆阵列芯片及多组分气体检测装置，包括硅基底，硅基底上阵列设置有若干热堆单元组，热堆单元组包括参比热堆和测试热堆，参比热堆和测试热堆均包括隔热空腔、三层支撑膜、若干多晶硅热偶对、环形加热器、匀热金属、加热电极以及输出电极；三层支撑膜设置于隔热空腔上；若干多晶硅热偶对相互串联并包裹于下面两层支撑膜之间；环形加热器包裹于上面两层支撑膜之间；匀热金属包裹于上面两层支撑膜之间，并位于环形加热器中间，测试热堆还包括催化剂，催化剂位于最上层支撑膜的表面并覆盖匀热金属。本发明的MEMS热堆阵列芯片具备检测下限低、线性范围宽、响应恢复时间短等特点，且能够进行多组分气体浓度的检测。