基板测试装置、系统及方法

本发明提供一种基板测试装置、系统及方法，装置包括基座、第一承载组件、第二承载组件、第一支撑组件、第二支撑组件、升降组件、DBC底板、探针组件及DBC，DBC包括IGBT芯片；升降组件一端、第一支撑组件及第二支撑组件固定设置在基座上；第一承载组件水平设置在第一支撑组件顶面上，第二承载组件水平设置在第二支撑组件顶面及升降组件另一端；第一承载组件承载探针组件；第二承载组件承载DBC底板上的DBC；第一支撑组件支撑第一承载组件及探针组件，第二支撑组件支撑第二承载组件、DBC基板及DBC；升降组件使得DBC底板DBC上IGBT芯片的电极与探针组件的接触接口对接，提升基板测试准确性。