一种晶圆退火热管理控制系统

本发明公开了一种晶圆退火热管理控制系统，涉及退火热管理的技术领域。通过实时获取目标晶圆的温度信息，计算误差变量；根据误差变量和预设的隶属度函数，确定模糊图；根据模糊图计算得到系数调整值；根据系数调整值对基准系数进行整定，得到目标比例因子；采用PID控制算法，根据目标比例因子和温度差值，计算得到加热功率。通过温度采集、模糊控制与自适应PID调节相结合，有效解决传统控制中存在的温度响应迟滞、超调震荡和抗干扰能力差等问题。系统基于温差及其变化率进行模糊推理，动态调整PID参数，并通过粒子群与模拟退火混合优化算法优化初始系数，从而实现高精度、强鲁棒性的温控调节，显著提升温度控制精度。