一种金刚石抛光研磨在线检测系统

本发明涉及固体分析领域，具体为一种金刚石抛光研磨在线检测系统，包括：首先，同步获取待检测金刚石表面的光学传感数据及热学传感数据；随后，对采集的传感数据进行处理，以检测并识别其表面的多种物理特性，包括表面缺陷状态、热致异常分布和可自校准的表面粗糙度，并追踪相关特性的演化趋势，从而生成初步的多维度特性分析结果；最终，综合各项分析结果，生成全面的金刚石缺陷表面物理特性在线评估报告。本发明主要解决了传统检测手段难以实时和准确地全面评估其表面多维度物理特性，以及快速响应表面状态变化的问题，旨在通过自动化在线分析，全面评估金刚石表面质量，为保障最终产品品质和优化研磨工艺提供依据。