失效芯片的筛选方法

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失效芯片的筛选方法
申请号:CN202510663877
申请日期:2025-05-21
公开号:CN120673824A
公开日期:2025-09-19
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种失效芯片的筛选方法,包括:提供待测试的芯片,芯片包括衬底、位于衬底上的栅极结构以及离子注入区,每个栅极结构均包括:栅氧化层、浮栅、ONO层、控制栅和字线栅,同一行的多个字线栅连接形成字线,同一行的多个控制栅连接形成控制线,同一列的离子注入区连接形成位线,一个字线栅与一侧的一个控制栅、一个浮栅和一个离子注入区组成一个存储单元;对存储单元进行擦除操作;对位线和控制线施加第一电压和第二电压,第一电压和第二电压的压差大于8.2V且第一电压与浮栅电压的电压差小于栅氧化层的击穿电压,第一电压大于0,第二电压小于0;对存储单元进行写00操作和读00操作,如果读取的值非00,则芯片失效。
技术关键词
筛选方法 电压 栅极结构 存储单元 芯片 浮栅 栅氧化层 控制线 衬底 位线 侧墙 计算方法
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