用于向具有多等离子体状态的腔室传输射频功率的系统和方法

本发明涉及一种用于向具有多等离子体状态的腔室传输射频功率的系统和方法。该系统利用RF功率发生器中的直接频率生成来建立最佳操作频率。通过预先确定不同工艺步骤的谐振频率，该系统消除了传统PID控制回路的需求，从而实现了工艺步骤之间的快速转换，进而提高了半导体制造工艺中的系统稳定性和效率。