一种标记芯片的自动喷墨装置及方法

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一种标记芯片的自动喷墨装置及方法
申请号:CN202510667294
申请日期:2025-05-22
公开号:CN120620860A
公开日期:2025-09-12
类型:发明专利
摘要
本申请的实施例提供了一种标记芯片的自动喷墨装置及方法,涉及芯片检测技术领域。标记芯片的自动喷墨装置包括控制器、网状滑轨组件和多个喷墨组件,控制器被配置为采集检测信号的控制器,检测信号包含晶圆中多个芯片的优劣信息。控制器还被配置为根据晶圆中多个芯片的优劣信息,控制预设数量的喷墨组件在网状滑轨组件上移动至目标位置,该预设数量与检测信号所包含的劣芯片的数量一致,在晶圆位于网状滑轨组件下方的情况下,预设数量的喷墨组件的位置与晶圆中劣芯片的位置一一对应。通过设置多个喷墨组件,实现对芯片批量快速的墨点标记,提高不良芯片的标记效率,从而提升优良芯片的生产效率。
技术关键词
自动喷墨装置 滑轨组件 墨水存放装置 压电体 控制器 芯片检测技术 信号 标记 针管 外形 外壳 丝杆 导线 晶圆 电压 批量
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