一种基于内腔反射相机系统的芯片键合引线三维测量方法及系统

本发明提供了一种基于内腔反射相机系统的芯片键合引线三维测量方法及系统，涉及三维测量技术领域。本发明通过内腔反射相机系统对待测芯片键合引线进行一次曝光成像，获得同一帧中相互独立的至少三个视角图像；对视角图像执行亮度归一化补偿与几何校准，得到均匀亮度且互相关联的视角数据集；将视角数据集两两配对，利用基于光流的特征匹配算法提取视差信息，并融合多对视差生成引线三维点云；对三维点云进行噪声滤波与曲面重建，得到引线的连续三维网格模型；采用视角图像中的任一视角或其组合对三维网格模型进行纹理映射，输出带纹理的引线三维重构结果。本发明实现了对芯片键合引线的高精度、大景深、快速三维测量。