基于激光超声频谱分析的金属晶界分辨方法与装置

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基于激光超声频谱分析的金属晶界分辨方法与装置
申请号:CN202510673218
申请日期:2025-05-23
公开号:CN120577231A
公开日期:2025-09-02
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种基于激光超声频谱分析的金属晶界分辨方法与装置,该方法包括:激发激光部分对作用在样品表面的激光进行空间调制,使其转化为线阵激光,通过步进电机控制激发激光跨过金属晶界,并激发出超声表面波信号;探测激光部分对激发出的超声表面波信号进行收集;超声信号处理部分对表面波信号进行频谱细化以及波形分解处理,将结果整理后确定线阵激光相对于晶界步进的距离与晶粒特征频率强度之间的关系,实现对金属晶界的分辨。相比于传统的金相法,本发明有着检测速度快、成本低以及不会对样品造成损伤等优势。
技术关键词
超声表面波 激光超声 分辨方法 步进电机控制 偏振光 YAG激光器 线阵 凸透镜 激光模块 反射光 光电探测器 偏振分光棱镜 衍射光学元件 晶粒特征 细化算法 信号处理模块
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