一种自动化研磨控制系统及方法

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一种自动化研磨控制系统及方法
申请号:CN202510676786
申请日期:2025-05-23
公开号:CN120480792B
公开日期:2025-11-14
类型:发明专利
摘要
本发明涉及自动化研磨技术领域,公开了一种自动化研磨控制系统及方法,包括:监测单元:获取待研磨材料的状态信息以及设备的运行状态信息;中控单元包括:第一控制模块:基于获取的待研磨材料的状态信息生成待研磨材料的状态特征参量;第二控制模块:基于历史研磨数据构建研磨模型库;第三控制模块:结合待研磨材料的状态特征参量以及研磨模型库生成对应的设备的控制指令;第四控制模块:基于设备的运行状态信息判断是否生成预警指令。本发明基于监测单元获取待研磨材料的状态信息以及设备的运行状态信息,中控单元基于这两种信息生成设备的控制指令,实现了材料状态和设备运行的协同控制。
技术关键词
研磨材料 特征参量 研磨控制系统 设备运行状态信息 设备状态信息 信息生成设备 设备运行数据 控制模块 模型库 中控单元 阶段 自动化研磨技术 监测单元 研磨控制方法 端点 周期 样本 指令
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