摘要
本申请提供一种玻璃芯板的制备方法、玻璃芯板及芯片封装结构。首先,提供一玻璃基板,接着,在玻璃基板上制作贯穿玻璃基板的基板通孔。再接着,制作覆盖在玻璃基板的表面并填充基板通孔的缓冲层,然后,制作贯穿基板通孔中缓冲层的缓冲层通孔,其中,缓冲层通孔的孔径小于基板通孔的孔径,基板通孔的内壁有缓冲层贴合。最后,在缓冲层通孔内制作导电走线,其中,导电走线将玻璃基板的相对两侧连通。如此,上述方案先在玻璃基板的表面和基板通孔内制作缓冲层,再对基板通孔内的缓冲层进行开孔处理,从而完成玻璃芯板的缓冲层的制备,提高了缓冲层的制备效果。
技术关键词
玻璃基板
通孔
芯片封装结构
光敏材料
芯板
金属导电层
掩膜
制作缓冲层
种子
负性光刻胶
光刻胶层
尺寸
涂层
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