一种基于多参数协同的真空镀膜自动化控制系统

本发明公开了一种基于多参数协同的真空镀膜自动化控制系统，涉及真空镀膜技术领域，通过多个传感器采集环境数据和膜层厚度数据，并对这些数据进行异常值检测和去噪以及标准化处理，确保数据的可靠性和统一性。通过膜层质量检测模块，系统可以对膜层质量进行检测计算，根据检测结果实行不同的优化策略，确保在检测到膜层质量低于合格标准时，可以立即对环境参数做出优化调整，从而实现调整膜层质量的目的，保证了镀膜质量的稳定性。最后，通过多参数协同优化模块和迭代优化模块的有效结合，实现对环境数据的多项参数之间进行自适应协同优化调整，确保膜层质量始终接近预设的目标值。显著提升了成品率，增强了系统的整体稳定性和可靠性。