一种基于显微系统不确定性分析的平面度识别校正方法

本发明属于平面度识别与校正技术领域，本发明公开了一种基于显微系统不确定性分析的平面度识别校正方法，包括以下步骤：引入带不确定性推理功能的深度神经网络对离焦距离进行预测，并使用输出方差量化预测不确定性；对目标焦平面的全局不确定性判断是否进入矫正流程；对目标焦平面进行局部分析，确定高不确定性区域；根据高不确定性区域的坐标点，求解五轴调节参数，确定调整样品位置与角度；在初始焦点调整后，由网络捕获一个新的目标焦平面进入步骤S101重新评估，通过反馈控制目标焦平面姿态达标，退出校正流程。