一种光学元件制品的表面镀膜工艺

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一种光学元件制品的表面镀膜工艺
申请号:CN202510688128
申请日期:2025-05-27
公开号:CN120470976A
公开日期:2025-08-12
类型:发明专利
摘要
本发明涉及表面镀膜技术领域,具体地公开了一种光学元件制品的表面镀膜工艺,本发明通过获取历史数据中的有效数组,基于有效数组训练升温阶段的温度预测模型,再获取升温阶段的实时温度值,将实时温度值代入温度预测模型,计算得到预测温度值和预测时间点,基于预测温度值与预测时间点的标准温度值计算预测温度偏差值,将预测温度偏差值与温度偏差阈值进行比较,判断偏差程度,若生成偏差大信号,则表示预测温度值处于异常状态,从而可以通过温度预测模型,对温度进行预测,可以及时了解到温度的偏差,进行提前性调节,进而优化膜层材料固化效果。
技术关键词
光学元件制品 表面镀膜工艺 流速 温度预测模型 气体 偏差 异常信号 标记 阶段 表面镀膜技术 温度曲线图 功率值 数据 异常状态 理论 时间段 数值 关系
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