摘要
本发明涉及光电技术领域,尤其涉及一种发光二极管芯片及其制备方法、LED,本发明提供的发光二极管芯片的制备方法中,对所述预设区域内的N型半导体层进行第二光刻处理和第二干法刻蚀,所述第二干法刻蚀所采用的刻蚀气体为SiCl4气体和Ar气体,以使所述预设区域的N型半导体层的Si掺杂浓度高于所述非预设区域的N型半导体层的Si掺杂浓度,并在所述预设区域内的N型半导体层上制备N型电极,以此实现了N型电极与N型半导体有更好的欧姆接触,降低芯片电压,同时又不影响N型半导体的整体Si掺杂浓度,避免了导致外延层的发光效率低从而导致芯片亮度低,实现了降压的同时又不损失发光亮度。
技术关键词
发光二极管芯片
半导体层
刻蚀气体
外延
上电极
光刻
功率
参数
亮度
压力
光电
衬底
电压
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