真空计、真空计的标定方法及真空的测量方法

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真空计、真空计的标定方法及真空的测量方法
申请号:CN202510688691
申请日期:2025-05-27
公开号:CN120489434A
公开日期:2025-08-15
类型:发明专利
摘要
一种真空计、真空计的标定方法及真空的测量方法,该真空计包括壳体、叶轮转子、旋转驱动件与控制器;壳体内部具有腔室与由壳体的边缘环绕形成的连接口;连接口用于目标腔体连接;叶轮转子包括转轴,并可旋转地设置于腔室之内;转轴的一端朝向连接口,转轴的另一端位于壳体背向连接口的一端;旋转驱动件设置于壳体背向连接口的一端,旋转驱动件的旋转输出轴用于通过与转轴配合,以驱动转轴旋转;控制器与旋转驱动件电连接,并配置为基于旋转驱动件的功率确定目标腔体的真空度。该真空计基于不同真空度下旋转驱动件需要不同的功率驱动叶轮转子克服来自气体的阻力,对目标腔体的真空度进行测量,提升了真空计的量程范围与准确性。
技术关键词
数学模型 真空度 真空计 驱动件 叶轮 功率 标定方法 数据 腔体 转子 测量方法 控制器 叶片 壳体 腔室 电流 阻力 电压 气体
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